探針臺(tái)是一種很專業(yè)的儀器，它主要的功能就是針對(duì)半導(dǎo)體元件進(jìn)行檢測(cè)，這里面說的半導(dǎo)體元件指的是集成電路，分立器件，光電器件，傳感器等元件以及封裝的測(cè)試。通過探針臺(tái)配合測(cè)量?jī)x器可完成集成電路的電壓，電流，電阻和電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測(cè)。可以適用于對(duì)芯片進(jìn)行科研分析，抽查檢測(cè)等；可以保證這些半導(dǎo)體元件的質(zhì)量，縮短研發(fā)時(shí)間和器件制作工藝的成本，所以，它的存在對(duì)于制造半導(dǎo)體的企業(yè)來說是非常重要的。

  隨著半導(dǎo)體市場(chǎng)的逐步開放和增長(zhǎng)，作為半導(dǎo)體檢測(cè)的必備儀器—探針臺(tái)的市場(chǎng)也在逐年增長(zhǎng)和擴(kuò)大中，不論是海外品牌還是國(guó)產(chǎn)品牌，近幾年在半導(dǎo)體檢測(cè)儀器市場(chǎng)中的規(guī)模都在逐年擴(kuò)大。

  從全球的探針臺(tái)市場(chǎng)來看，目前還是以國(guó)外的企業(yè)為主導(dǎo)，他們占據(jù)了大部分的探針臺(tái)市場(chǎng)。近乎7成的市場(chǎng)份額都被國(guó)外探針臺(tái)企業(yè)所占據(jù)，僅有3成的市場(chǎng)由臺(tái)灣企業(yè)及國(guó)內(nèi)的廠商占據(jù)，可以說比重較低。

  由于我國(guó)在半導(dǎo)體市場(chǎng)上長(zhǎng)期被國(guó)外企業(yè)掣肘，因此，我國(guó)已經(jīng)開始下大力氣在半導(dǎo)體的研發(fā)中了，國(guó)家會(huì)給半導(dǎo)體行業(yè)很多政策上的扶持。所以，國(guó)內(nèi)的探針臺(tái)企業(yè)也在努力力爭(zhēng)上游，帶著研發(fā)團(tuán)隊(duì)不斷提升自身技術(shù)和自身的競(jìng)爭(zhēng)力。相信在不久的將來，我國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)將會(huì)有飛躍性的進(jìn)展。

  探針臺(tái)按照功能區(qū)分，分為常溫探針臺(tái)，高溫探針臺(tái)，高低溫探針臺(tái)，以及霍爾探針臺(tái)還有其他定制型專用探針臺(tái)等，而目前常溫探針臺(tái)，高溫探針臺(tái)無論是性能還是操作使用便捷性上，都已經(jīng)足以媲美進(jìn)口品牌，而高低溫探針臺(tái)液氮（77K）溫區(qū)經(jīng)過這幾年的發(fā)展品質(zhì)也足夠穩(wěn)定，至于超低溫液氦（4K）溫區(qū)還在需要更多的磨練與發(fā)展。但是這里值得注意的是不管處于哪個(gè)技術(shù)要求下的探針臺(tái)，國(guó)產(chǎn)探針臺(tái)的價(jià)格都能比進(jìn)口探針臺(tái)相差幾倍，甚至幾十倍之大。

　　以下是探針臺(tái)選型注意事項(xiàng)

　　※最大需要測(cè)幾inch的晶圓或者器件？是否需要測(cè)試破片或者單顆芯片，最小的單顆芯片尺寸？

　　※探針臺(tái)機(jī)械精度要求多高？

　　※點(diǎn)測(cè)樣品的電極尺寸？100μm *100μm或60μm *60μm的pad，還是FIB制作的mini pad，或者ic內(nèi)部的metal線路？

　　※最多需要幾個(gè)探針同時(shí)去點(diǎn)測(cè)？

　　※是否會(huì)用到探針卡測(cè)試？

　　※光學(xué)顯微鏡的最小分辨率需要用到多少？

　　※顯微鏡方面，是否需要添加偏光片做LC液晶熱點(diǎn)偵測(cè)？

　　※探針點(diǎn)測(cè)時(shí)，對(duì)電流的要求能否達(dá)到100fa或者以下？低

　　電容要求能否要做到0.1pf？是否有射頻需求？

　　※接駁的測(cè)試儀器接口有哪些？

　　※測(cè)試環(huán)境時(shí)是否會(huì)需要加熱或者降溫？ 是否需要密閉腔體？

　　※對(duì)chuck的漏電要求怎樣？是否需要添加低阻抗chuck？

　　※是否需要防震桌？

　　※若添置防震桌，是否有壓縮空氣？